【概要・特長】

【概要】
誘導結合形熱プラズマの超高温における熱的・化学的反応領域を利用し、粉末原料を蒸発、溶融し、ナノ粒子合成や表面改質が可能。



【特長】
●CVDやスパッタで広く利用されている自社製RF電源を使用。
●設置場所取らず、簡単なユーティリティを用意するだけでOK。
●簡単な操作で約1万度以上もの高純度な熱プラズマを発生でき、あらゆる雰囲気環境下でナノ粒子、球状化、複合化、コアシェル、担持などの革新的な実験或いは少量製造が可能。
【用途】
ナノ粒子合成、微粒子溶射、微粒子球状化、成膜など。

【主な構成】
RF6kW電源、プラズマトーチ、水冷チャンバー、ガス冷却器、フィルター、真空バルブ、真空ポンプ、冷却水分岐管、マッチングボックス、各種インターロックなど。

【オプション】
自動圧力コントローラー、プラズマ急冷ガス用スリットリング、プラズマテール原料導入フランジ、液体供給ユニットなど。