【概要・特長】

ProXは元素分析装置を標準で搭載した卓上SEMの最高峰モデルです。SEM像の観察だけでなく、SEM像を解析して試料から最大限の情報を引き出すことができます。広いエリアのSEM像を自動で取得する機能を使ってサブミクロン粒子のSEM像を多数取得し、粒子解析ソフト（オプション）でサイズや形の分布を測定し、統計的な評価を行うことができます。

ProXに加えて、以下のモデルもあります。
●Pro：多彩な拡張性を持つ高分解能モデル
●Pure：新規導入に最適なモデル
●XL：最大100x100 mmの大きな試料や多検体に対応可能なモデル
【特徴】
●CeB₆電子銃を採用し、高画質観察を実現
●簡単な操作で素早くSEM像を観察
●光学顕微鏡によるカラー画像で視野探し可能
●試料の全体像で観察位置を常に確認可能
●帯電しやすい試料を前処理無しで観察
●粒子・細孔・繊維・表面粗さの解析が可能（オプション）

【主な仕様】
倍率：80 〜 150,000倍
検出器：反射電子検出器（標準）
　　　　二次電子検出器（オプション）
分解能：10 nm（反射電子）
　　　　8 nm（二次電子）