【概要・特長】
【概略】
●キャリアガスを搬送手段に用いたテーブル式粉末供給機構。
●凝集し易く、塊に成り易い微粒子を安定に供給することができる。
【特長】
●腐食性材料を除き、強磁性や純金属、セラミックスなど、あらゆる種類の微粒子を安定に供給できる。
●雰囲気制御も可能で、真空チャンバーへの粉末供給も可能。
●粉末供給装置本体とコントローラは分離しているため、本体だけをグローブボックス内へ入れることができる。
●本体を電子天秤に乗せることで、リアルタイムで粉末供給レートを計測できる。
●単相AC100Vの家庭用コンセントで動作。
【主な構成】
粉末供給装置、コントローラー。
【オプション】
1L及び7Lホッパー、電子天秤、粉末供給レートモニターソフト、各種供給版及び吸引口ユニット、ノッカーレスユニットなど。
【用途】
プラズマへの材料供給源、AD法、微粒子溶射など。
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